反滲透超純水機是一種使用反滲透技術（Reverse Osmosis，RO）來產生高純度水的設備。它是一種常見的超純水處理設備，廣泛應用于實驗室、醫院、電子制造和制藥等領域。

反滲透超純水機的工作原理如下：

預處理：水源經過預處理步驟，例如顆粒過濾器、活性炭過濾器等，去除大顆粒、懸浮物、有機物和氯等雜質，以保護反滲透膜的性能。

反滲透膜：經過預處理后的水進入反滲透膜，反滲透膜是一種半透膜，它具有微小的孔徑，可以過濾掉水中的溶解性鹽類、離子、微生物、有機物和大部分膠體顆粒等。

壓力驅動：反滲透超純水機使用高壓泵將水推動通過反滲透膜。由于反滲透膜的選擇性過濾作用，只有純水分子能夠通過膜孔，而其他溶質和雜質則被滯留在膜表面，形成濃縮液（濃水）。

濃縮液排放：濃縮液中的溶質和雜質被排放，以保持反滲透過程的持續運行。濃縮液通常會通過排放管道排出設備。

純水收集：純凈水則通過反滲透膜進入純水管道或儲水罐，作為最終的產水。純水質量高，通常具有較低的離子濃度和電導率。

反滲透超純水機的性能和配置會根據具體的應用需求而有所不同。一些設備可能配備在線水質監測系統，以確保產水質量穩定。同時，定期的維護和清洗反滲透膜也是保持設備高效運行的重要措施。