超純水系統是一種專門用于生產高純度水（如工業純水、電子級水）的設備系統。它通常包括多個處理步驟和組件，旨在去除水中的雜質、離子和溶解物質，以產生極高純度的水。

以下是一個常見的超純水系統的基本組成部分：

預處理：超純水系統通常包括一些預處理步驟，如過濾、加藥、軟化等。這些步驟旨在去除水中的懸浮顆粒、泥沙、有機物和微生物等。

反滲透（RO）：反滲透是超純水系統中的關鍵步驟之一。在這個過程中，水通過一個半透膜，將水中的溶解物質、離子和微生物等截留在膜的一側，而純凈的水則通過膜而被收集。反滲透能有效去除大部分溶解性雜質和離子。

去離子（DI）：去離子是一種常用于超純水系統中的處理步驟。它使用離子交換樹脂或其他去離子設備，進一步去除反滲透膜未能去除的殘余離子，以產生更高純度的水。

純化/精處理：在去離子之后，一些超純水系統可能還包括其他純化或精處理步驟，如電極去離子（EDI）、電解、超濾、紫外線滅菌等。這些步驟有助于進一步凈化水質，去除殘余的有機物、微生物和微量離子。

儲存和分配：超純水系統通常包括水貯存罐和管道系統，用于儲存和分配純凈水。儲存罐可保持水的純度，并確保按需供應。

超純水系統的規模和配置根據具體的應用需求而有所差異，可以是小型的實驗室級系統，也可以是大型的工業級系統。這些系統廣泛應用于電子制造、制藥、化工、實驗室研究和其他需要高純度水的領域。