超純水設備的工作原理主要涉及到以下幾個步驟：

初級預處理：超純水設備首先通過初級預處理，包括顆粒物和有機物的過濾、去除氯和游離氯等處理，以減少原水中的懸浮物和有機物質，以及減少可能對設備造成損害的化學物質。

反滲透膜過濾：初級預處理后，超純水設備通過反滲透膜過濾，這是制備超純水的核心過程。反滲透膜是一種高分子材料，具有微小的孔徑，可以過濾掉水中的大部分離子、有機物質和微生物等雜質，同時保留水分子，從而得到更加純凈的水。

離子交換：在反滲透膜過濾后，超純水設備還可以通過離子交換器進一步去除水中的離子和雜質，以得到更加純凈的水。離子交換是指通過陽離子交換樹脂和陰離子交換樹脂對水中的離子進行吸附和釋放，從而去除水中的離子雜質。

紫外消毒：在離子交換后，超純水設備會使用紫外線消毒器對水進行消毒，以殺滅水中的微生物和病毒，保證水的純凈度和安全性。

通過以上工藝步驟，超純水設備可以制備出純度極高的超純水，滿足各種實驗、生產和醫療等領域的需求。