在操作超純水設備的時候，我們經常在一些電阻率這一指標。那么電阻率到底要達到什么樣的指標才能夠屬于超純水設備正常的電阻率范圍呢？

電阻率在水中的純度測定在某個方法單位其一，電阻率與電導率相互呈倒數的關系。在水中擁有足量陰陽交換離子，離子是一個導電介質，能夠經過測量水中的電阻率能夠表現出水中能夠含有的離子數為多少，由此便能夠反應出水的純度，在通常情況下能夠反應出超純水的純度。

電阻值單位：電阻國際單位為歐姆，代號Ω，超純水的電阻值很大，常用MΩ表示。5μS/cm=0.2MΩ.cm；1μS/cm=1MΩ.cm；0.5μS/cm=2MΩ.cm；0.2μS/cm=5MΩ.cm；0.1μS/cm=10MΩ.cm； 18.25MΩ.cm=0.055μS/cm。

電阻率的值能夠反應出超純水的純凈程度的原理：在測定水的導電性能時，與水的電阻值大小有關，電阻值大，導電性能差，電阻值小，導電性能就良好。根據歐姆定律，在水溫一定的情況下，水的電阻值R大小與電極的垂直截面積F成反比，與電極之間的距離L成正比。

水的電阻率的大小，與水中含鹽量的多少，水中離子濃度、離子的電荷數以及離子的運動速度有關。因此，純凈的水電阻率很大，超純水電阻率就更大。水越純，電阻率越大。因此，電阻值通常反映超純水的純度。超純水離子含量極低，電阻值通常＞10MΩ.cm，理論上最純水電阻值為18.25MΩ.cm。