一次純水的水質對超純水的純化結果有很大的影響。做為超純水系統的供給水盡量不要使用離子交換樹脂水或是蒸餾水，其原因并不只是因為會使超純水系統的性能無法完全發揮，并且還會降低純化柱與過濾膜的使用壽命。

利用逆滲透膜（RO）進行水質純化時，逆滲透膜的功能會受到自來水水質（因地區的不同、季節的變化等）很大的影響，因為逆滲透膜是以比例原則來去除污染物，自來水的水質越差，逆滲透純化后的水質就越差。所以，以RO+EDI純水做為超純水系統的供給水是合適的，如此便可得到水質穩定的超純水。

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