EDI超純水系統中的EDi純化系統主要通過直流電場的作用，通過隔板中的水電介質離子，其作用是通過電介質離子通過吸附離子將其遷移淡水將通過陰離子和陽離子膜截留，從而讓濃水不斷的淡化提純，從而得到超純水。

在使用超純水設備的時候需要采用預處理、反滲透技術、再通過電導率介質將其完全去除，并將水中的不離解膠體物質、氣體等方面去除水中的大量離子。再將氣體中的有機物均勻去除到一個很低的程度。將超純水設備脫鹽效果主要是經過反滲透系統。

EDI超純水處理設備主要用于半導體行業、電子元件行業、醫療分析檢測行業、制藥行業以及各類實驗室和工業的用水需求，完全滿足實驗室等領域的應用。

目前超純水機已廣泛應用于：電子、電力、電鍍、照明電器、實驗室、食品、造紙、日化、建材、造漆、蓄電池、化驗、生物、制藥、石油、鋼鐵、玻璃清洗用水、半導體工業、精細化工、光學、醫藥用水、透析醫療用水。等領域。

超純水系統的制水工藝如下：

1： 原水箱→原水泵→石英砂過濾器→活性炭過濾器→軟化系統→單級反滲透系統→edi系統→超純水箱=電阻率≤5MΩ·cm

2： 原水箱→原水泵→石英砂過濾器→活性炭過濾器→雙級反滲透系統→edi系統→超純水箱=電阻率≤10MΩ·cm

3：原水進入水箱，通過水泵進行石英砂、活性炭以及雙級反滲透系統再通過反滲透處理最后進行edi系統和拋光混床就能得到符合要求的超純水=水電阻率18.2MΩ·cm