超純水生產設備是用于生產高純度超純水的專用設備，通常包括以下組成部分：

預處理系統：超純水生產設備的預處理系統用于去除水源中的懸浮物、膠體、有機物、重金屬和微生物等雜質。它通常包括顆粒過濾器、活性炭過濾器、軟化器、混床離子交換器等。

脫離氣系統：超純水生產過程中，需要去除水中的溶解氣體，以確保水的純度。脫離氣系統可以通過通入氮氣或真空抽吸等方式去除溶解氣體。

反滲透系統：反滲透（RO）膜是超純水生產設備的核心組成部分。RO系統使用高壓驅動水通過半透膜，將溶質、離子和微生物截留，從而產生純凈水。

離子交換系統：離子交換是超純水生產的重要步驟，用于進一步去除水中的離子和微量溶質。通常采用離子交換樹脂，分為陽離子交換和陰離子交換兩個階段。

紫外線滅菌系統：為了確保超純水的微生物安全性，超純水生產設備通常配備紫外線滅菌系統。紫外線能夠有效殺滅水中的細菌、病毒和其他微生物。

儲存和配送系統：超純水生產設備通常配備純水儲罐和配送系統，以儲存和供應所生產的超純水。

廣東超純水生產設備的具體配置和性能會根據應用需求的不同而有所差異。在選擇超純水生產設備時，需考慮所需的水質標準、產水量、設備可靠性、維護保養以及成本等因素。建議咨詢專業的水處理設備供應商或工程師，以獲得更詳細的信息和選擇適合您需求的超純水生產設備。