制造超純水的設備通常包括以下幾種：

1.反滲透設備：反滲透是制備超純水的常用工藝之一，反滲透設備通過半透膜對水進行過濾，去除大部分雜質和離子，從而獲得較高純度的水。

2.電離子交換設備：電離子交換是另一種常用的水處理技術，電離子交換設備通過將原水通過樹脂床，用交換樹脂去除離子和雜質。

3.超濾設備：超濾設備通過特殊的膜過濾技術，將水中的大分子有機物和顆粒物去除。

4.紫外線殺菌設備：紫外線殺菌設備利用紫外線對水中的微生物進行殺滅，從而消除水中的細菌和病毒。

以上這些設備可以單獨使用，也可以組合使用，以獲得更高的水質和穩定性。除此之外，超純水設備還需要考慮操作控制系統、材料的選擇、自動化程度等因素。如果需要制造超純水設備，建議尋找專業的生產廠家或工程師咨詢和合作。